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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀
    型　號(hào)：PS-6ND
    品　牌：日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo)：檢測(cè)原理：熱分解，定電位電解式；NF3,CCI4用 
    遵義半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-PS-6ND-日本新宇宙
    功能描述
    檢測(cè)原理： 熱分解，，定電位電解式；NF3,CCI4用
    采樣方式： 泵吸引式
    采樣配管： 特富龍外徑6/內(nèi)徑4mm，，配管距離20m以?xún)?nèi)；但吸著性強(qiáng)的氣體最大配管距離為5m
    氣體濃度顯示： 0～9999LED顯示
    輸出信號(hào)： 用DeviceNet的數(shù)字通信
    流量低下信號(hào)： 用DeviceNet的數(shù)字通信
    適合電纜： 電源用：KW或KW-P2芯；通信：DeviceNet專(zhuān)用電纜
    使用溫度： 0℃～40℃
    消耗電力 本機(jī)：約15W通信，，約2W
    電源需求
    電壓 DC24±10%
    物理特性
    長(zhǎng)度 145mm(突起部分除外）
    寬度 37mm
    高度 198mm
    重量 2.7kg
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