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呂梁半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀-XP-703D-日本新宇宙

功能描述
檢測(cè)氣體：	半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
檢測(cè)原理：	熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式:	自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度：
胂	0.2
膦	0.3
硼乙烷	0.1
硅烷	0.5
氫氣	1.0
檢測(cè)表示：	蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度：	10秒以內(nèi)

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